摘要: 第一次量子革命揭示了量子力学的基本原理，诞生了激光器和晶体管等半导体器件，催生了包括集成电路、光电子器件、传感器、分立器件在内的四大类半导体技术。至今已有11项半导体成果获得诺贝尔物理学奖以及1项获得诺贝尔化学奖，其中，晶体管被认为是20世纪最伟大的发明之一。晶体管由源极、漏极、栅极、沟道和栅介电层组成，在源极与漏极之间加上偏压后，栅极隔着氧化物栅介电层控制源极与漏极之间半导体沟道的导电开关状态。Dennard缩放定律要求每一代技术的晶体管尺寸缩小30%、面积减半、功耗减半，以确保单位面积内集成晶体管的数量每两年翻一倍，该定律与摩尔定律一同推动了集成电路的发展。