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  • 摘要: 结合我们工作的实际需要,本组于1972年研制了一套激光干涉测振仪,主要用于校准振动传感器.振幅的测量可以准确到0.2μm,实验表明,与使用读数显微镜比较,精度提高了,而且操作方便,大大缩短了校准实验的时间.一、基本原理由于氦氖气体激光器输出的激光单色性非常好,波长很稳定,因此用激光的波长来度量振动位移幅度的大小,具有较高的精确度.激光干涉测振仪基本原理如图1所示.激光干涉测振仪是根据光学干涉?...

     

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