摘要: 近十几年以来，国内外广泛地进行了电子束技术在工业中的应用研究．其中，一部分已经成功地用于实际生产中，例如：电子束蒸发、电子束焊接以及利用扫描电子显微镜观察材料及器件特性等．随着科学技术的发展，国内外对于电子束技术在微电子器件制造中的应用也相当重视．一些技术比较先进的国家大都已开展了电子束曝光技术的研究试制工作，并已取得成果．下面我们就讨论电子束曝光技术中的一些问题．所谓电子束曝光就是利用电子?...