摘要: 椭偏光仪是一种根据物理光学原理测量薄膜厚度和折射率的仪器．它的特点是能测很薄的膜（可达１０埃），测量精度高（误差小于±１０埃），测量过程是非破坏性的，并能同时测定膜的厚度和折射率．据报导，椭偏光仪可广泛用于电子、光学、金属、化学等工业以及物理学、化学、生物学、医药学的研究．例如，物体光学常数的测定，各种薄膜的测定和控制，表面层和表面过程（氧化、腐蚀、吸附、润滑、催化）的研究等等．１９７５年，?...