摘要: 一、引言Ｚｈｐ－２型火花源固体双聚焦质谱仪，是一种利用离子光学方法分析固体样品中微量杂质元素的大型仪器．它在物理学研究和应用工作中起着越来越重要的作用．随着近代科学技术的发展，新材料的应用越来越广泛．对超纯物质的纯度提出越来越高的要求．如半导体材料中某些微量杂质的存在，足以影响材料及器件的重要性能．因此，在生产工艺上必须加以控制，要求相对灵敏度达到１０－８－１０－１０，甚至更高．迄今为止，具?...