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陈希成, 杨大宇. 离子轰击减薄装置及其应用[J]. 物理, 1979, 8(3).
引用本文: 陈希成, 杨大宇. 离子轰击减薄装置及其应用[J]. 物理, 1979, 8(3).

离子轰击减薄装置及其应用

  • 摘要: 对材料作显微观察分析时,需要对材料表面腐蚀或将材料减簿.因为腐蚀之后所显示的腐蚀图象,在一定程度上反应材料的组织和结构.在用透射电子显微镜观察材料内部组织和结构时,需要将材料减薄,制成数千埃至数万埃厚度的薄样品.近年来常用离子轰击方法腐蚀或减薄样品,离子轰击减薄方法能减薄其它方法难以减薄的材料,如多相材料、硬的脆的材料、烧结多孔材料,以及橡胶、高分子、生物等.离子轰击方法也可用于制备电子显微?...

     

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