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金属中的离子注入

  • 摘要: 一、前言离子注入工艺是把要注入的杂质元素电离成离子.然后通过磁分析器分析和加速器加速,得到较纯的离子,并以很快的速度,将这种离子打入固体靶内,以达到改变固体表面的物理化学性能.这种注入工艺早在五十年代就已进行了大量的研究.当时的研究以金属为主。主要是进行原子相互作用的物理探索,模拟反应堆材料的辐照损伤效应.在六十年代初·人们已经知道半导体材料的电学性质,可以由辐照损伤和射入快速离子而产生变化?...

     

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