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用椭圆偏振光谱法研究溅射无定形硅的光学性质

  • 摘要: 近年来,由于太阳能利用等方面的需要,无定形硅的研究在国际上得到重视和发展.无定形硅的光学性质是基本研究的重要内容之一,与它的电子结构有密切关系.其中,吸收系数和吸收边的研究工作较多,折射率的研究也有一些.Pierce和Spicer[1]测量了无定形硅的复数折射率,求出介电常数的虚部ε2(E),并与Philipp和Ehrenreich[2]对单晶硅的测量结果作比较,得到图1的结果.由图?...

     

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