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干涉显微镜白光厚度系数的校正

  • 摘要: 6JA型干涉显微镜不但是一种测量精密加工表面光洁度的仪器,而且常用于厚度测试.仪器光源为白炽钨丝灯(6V,5W),备有绿色干涉滤光片(λ=0.536μm,半宽80A),可分别用单色光和白光进行测量,由公式求得表面的不平深度(或薄膜厚度)t,式中λ为所用光波长,N为对应条之间相隔的条纹数,其值等于对应条间距与相邻条间距之比.对于单色光,厚度系数是确定的量,因此测试精度较高.但在表面的不平深度较?...

     

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