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固体光学薄膜结构研究的一些进展

  • 摘要: 一、引言我们现在所说的固体光学薄膜,大多数是指用真空蒸发的方法制备的薄膜,也就是所谓物理蒸汽淀积膜.这种薄膜的制备过程受着多种条件的影响.例如,由于蒸发材料、加热源材料、蒸发速率、环境条件、基体材料、基体温度等因素的不同,形成薄膜的性质和结构也就不同.而且理论上的计算往往与实际测量的结果有着很大的偏差.这就是所谓成膜的多因素影响薄膜的多变化.要制备一种合乎要求、经久耐用的薄膜实属不易.因此,?...

     

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