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金昭廷, 谢淑云, 彭传才. 离子镀铟制造透明导电电极[J]. 物理, 1981, 10(11).
引用本文: 金昭廷, 谢淑云, 彭传才. 离子镀铟制造透明导电电极[J]. 物理, 1981, 10(11).

离子镀铟制造透明导电电极

  • 摘要: 离子镀膜技术是继电子束真空蒸发镀膜、真空溅射之后发展起来的一种新的镀膜技术.它综合利用了真空蒸发及溅射两种镀膜原理和技术,具有比纯真空蒸发或真空溅射更为突出的优点.因此,已被国内外电子、轻工、激光、精密机械、宇航等部门所采用.液晶显示中透明电极图形的制作,是研究和生产液晶显示器件的关键技术之一,对提高液晶显示器件的质量、降低成本等都有重要的影响.目前常用的制作透明导电电极技术,都程度不同地存?...

     

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