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锌和氮离子注入Ga A_(s_(1-x))P_x的光学和电学特性

  • 摘要: 本文主要研究了锌、氮离子注入GaAs1-xPx提高发光效率的机理.从锌在GaAs1-xPx中的剖面看出,在p-n结附近锌的浓度比较低,结果降低了发光层中沉积的锌原子对光的吸收.在77K的温度下,从阴极荧光光谱可以看出氮在GaAs1-xPx中已经形成了等电子陷阱.用锌、氮离子注入制作的发光二极管发光效率提高了近一倍.一、实验在GaAs<100>单晶片上外延生长n型GaAs1-xPx(x≈0.4?...

     

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