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新的光干涉实验——多光束等厚干涉测薄膜厚度

  • 摘要: 多光束等厚干涉条纹具有干涉条纹锐细的优点,可以大大提高干涉法计量的精确度.目前已经有以下几方面的应用:1.测量厚度在lμm以下的薄膜厚度;2.检查高级光学平面的质量,研究接近平面的晶体表面和金属表面的形状和特性[1];3.测量液体的折射率[2];4.测量μm以下的细丝的直径和光学特性(例如人造纤维的直径和折射率).也已生产了基于本原理的商品仪器.根据科学技术的发展,我们设计了一个实验──用多?...

     

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