摘要: 用Ｘ射线荧光光谱法测定二元合金薄膜的组分时，通常是先制备一系列不同成分的薄膜，经化学分析标定后作为标样，以此来确定标准曲线，然后对待测薄膜进行测定、比较［１，２］．近年来某些作者推荐利用单组分薄膜标样的方法［３，４］．这些方法不足之处在于制备薄膜标样要增加较大的工作量．用质子背散射方法来测定薄膜组分虽具有它独特的优点，但是在测定膜主成分时其准确度常常不够满意，此外，它还要与加速器联用?...