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如何获得高分辨高质量的X射线形貌图

  • 摘要: X射线形貌术是研究晶体材料缺陷的重要工具之一.目前,它被广泛地用来研究晶体材料的生长缺陷、加工缺陷以及使用缺陷.本刊已发表了若干文章,介绍了X射线形貌术的基本原理、实验方法、主要应用和发展方向1-3].本文仅就如何获得高分辨、高质量的形貌图这个X射线形貌工作者最关心的问题,结合我们的工作,以Lang透射形貌术为例谈谈我们的体会,着重讨论影响形貌图质量的几个主要因素.一、X射线源大小和波长发散....

     

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