摘要: 一、物理本质把与样品交互作用后的透射电子按能量大小进行计数，这就是电子能量损失谱（ＥＥＬＳ）．ＥＥＬＳ是一次过程，其中的电离损失峰是内壳层电子直接被激发或电离的过程．Ｘ射线能谱是电离后的弛豫过程，是二次过程，取决于Ｘ射线的产额．故从理论上说，ＥＥＬＳ的测量效率应较之Ｘ射线能谱为高．但因为在实际测量中，ＥＥＬＳ受谱仪接受角大小的限制，只能接受一部分非弹性散射的电子，所以实际测量效率相近．二、谱?...