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用X射线衍射的驻转法测量半导体单晶片
林振金
,
刘玉梁
,
林志南
,
彭梦华
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用X射线衍射仪进行多晶分析和粉末样品分析是很方便和精确的,但是对于单晶样品的分析则有困难,因为分析单晶样品要用四圆X射线衍射仪,而目前国内尚无这种商品.为了充分发挥多晶衍射仪的使用效率,做到一机二用,可以运用衍射驻转法对仪器稍加改装.为此,我们设计和试验了简易的单晶测角头,配合衍射仪原来附带的旋转样品架,就能进行单晶片的X射线分析,例如对已知晶系晶体的点阵常数进行测量,和对晶格缺陷进行分析等?...
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