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新实验技术在材料研究中的应用讲座 第六讲 微区成分的X光和俄歇电子定量分析

  • 摘要: 随着电子束分析仪器的发展,微区成分(包括表面微区成分)分析已经有了有力的工具.利用电子束激发的标识X光,目前的仪器已经能够在几分钟之内对几个(μm)~3范围(扫描透射电镜中还可缩小几个数量级)内的多种成分(例如八种成分)作出定量分析.利用电子束激发的俄歇电子,目前的仪器已经能对表面(0.1μm)~2范围内的成分进行定量分析(准确度尚待改进).以下主要介绍这些定量分析的原理及应用中的一些问题.?...

     

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