摘要: 一、微探针分析原理微探针是用于测量化学元素沿物体表面分布的工具，继电子微探针问世之后，又有了离子微探针［１］及质子微探针等．各种微探针分析的原理是大同小异的．如图１所示，离子（或电子）源发射出的离子（或电子）经过滤波（例如对离子或电子的能量和种类进行选择），聚焦成微束，然后沿样品表面扫描，诱发的次级辐射再经过滤波被探测器接受，经过定量的处理，最后给出化学组成的二维分布情况或图象．离子微探针有?...