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新实验技术在材料研究中的应用讲座 第十一讲 Auger谱仪和扫描Auger谱仪在材料研究中的应用

  • 摘要: 七十年代初发展起来的微区分析新技术──Auger谱仪(AES)及扫描Auger谱仪(SAM)在材料研究中的应用愈来愈受到人们的重视.长期以来,Auger效应[1]未能找到实际应用.直至1953年才由Lander[2]提出了可在超高真空中测量Auger电子,这种电子由于能保持来自表面层的特征能量信息而可用作表面分析.1968年,Harris[3]用电子能量微分法提高了灵敏度;1969年Palm?...

     

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