摘要: 点缺陷是指晶体中一个原子尺度的缺陷．半导体中的点缺陷包括晶格空位、间隙原子、化学杂质以及它们的复合物．由于这些缺陷的存在，使半导体晶格周期性的规则排列遭到破坏，因而往往在禁带中引入能级．半导体的许多重要性质与杂质和缺陷紧密相关，因而它们是半导体研究中基本的和重要的课题之一．近一二十年来，硅中点缺陷的研究有了显著进展．这是因为电子顺磁共振技术、结谱法以及光学测量等得到成功的应用．用电子顺磁共振?...