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实用超高频ZnO薄膜换能器的研制

  • 摘要: 在进行凝聚态物质的声传输性质的研究工作中,声换能器是必不可少的关键器件.它是将石英片预先粘在延时棒上,使用通常的抛磨技术减薄,目前国内可以做到的工作基频为100MHz左右.为了获得较高效率的超高频体波换能器,作者在延时棒上制作了氧化锌(ZnO)薄膜换能器.ZnO单晶是6mm类晶体,在与其C轴垂直的平面内的电性是各向同性.C轴高度择优取向的多晶薄膜具有与单晶相近的性能.一般的薄膜淀积技术,如真?...

     

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