摘要: １９５８年第一个平面型晶体管的诞生，为集成电路的发明奠定了坚实的技术基础．翌年，集成电路问世，其后集成规模以每年翻一番的高速度迅速发展．现已有能在几毫米见方的小硅片（又称芯片）上集成包含百万只元器件的超大规模集成电路．这二十多年中，一个芯片中集成的元器件数增加了几十万倍，而芯片的面积仅扩大了一个数量级左右．因此集成技术的发展主要是依靠缩小芯片中每个器件的尺寸来实现．实际上器件的线度缩小了近三?...