摘要: 半导体硅材料（以下简称“硅或“硅材料”）与集成电路的关系十分密切．硅材料的诞生比集成电路要早，但集成电路的出现使硅在半导休材料中占压倒优势．根据１９８２年的统计，在半导体器件市场中，硅占９８％［１］．而集成电路约占整个半导体器件的８０％左右．集成电路推动着硅材料工业的发展，使硅材料产量大增，生产技术日益提高，设备日益大型化和自动化．另一方面，硅材料质量的提高和成本的下降又为集成电路的集成度和?...