摘要: 离子注入技术是将高能束流的离子（一般为几十一几百ｋｅＶ）注入到固体材料的表面，从而改变材料表层的物理、化学和机械性能的一种新方法．早期，离子注入技术用于半导体器件的掺杂，大大促进了微电子学的发展．近年来，离子注入技术迅速地扩大应用到固体物理和材料科学的许多领域，如非晶态、超导、磁泡材料、集成光学材料等，成为一种重要的研究手段，并获得日益广泛的应用．离子注入技术作为金属表面处理的一种新方法，可?...