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集团离子束成膜技术

  • 摘要: 1972年,日本京都大学电子学系的高木俊宜等人提出了一种新的成膜技术,叫做集团离子束成膜技术.这种技术有一系列优点:成膜速度快,每分钟可达数十毫微米到数微术.膜的密度接近大块物质的密度,膜和基板的附着力强.可以控制生成膜的性质,可以在较低基板温度下生成单晶膜、非晶膜、金属膜、绝缘体膜、化合物膜和高分子膜,成膜质量优于其他成膜技术.近年来这项技术发展较快,日本三菱电机、真空技术、双叶电子工业等?...

     

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