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金属硅化物

  • 摘要: 硅与周期表上许多金属能形成金属硅化物1-3].近十年来,由于半导体科学技术的发展和要求,对金属硅化物的研究很活跃.微电子器件(LSI,VLSI)的基本结构中含有大量的金属化系统,例如器件和单元的互连,硅与金属的接触肖特基势垒(SB)和欧姆接触]和栅电极.据估计,每一片256KMOSRAM就有50万个左右的金属互连.一块中规模集成电路则平均有70个左右的SB二极管和400个左右的欧姆接触.这?...

     

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