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等离子体科学技术应用专题系列介绍 第八讲 气体放电等离子体在薄膜技术上的应用

  • 摘要: 近年来,薄膜材料在国民经济和新技术各领域中发挥了重要的作用。它的迅速发展,无疑也和等离子体在薄膜技术中的广泛应用有关,气体放电等离子体中的高能带电粒子和中性粒子,有助于克服气相沉积化学反应的能障,影响其动力学过程,改变薄膜的结构和性能,从而得到用其它工艺难以制备的材料.一、气体放电等离子体气相沉积中采用的等离子体通常是用辉光、电弧、高频或微波、高压电晕等放电形式产生的,其共同特点是其正负电荷?...

     

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