摘要: 三、合金和化合物的溅射［２，２１－２３］１．择优（ｐｒｅｆｅｒｅｎｔｉａｌ）溅射现象对合金、化合物的溅射与前面所述的对单质的溅射具有十分显著的差别．首先，即使同种原子。由单原子固体变为多种原子固体后，溅射产额也将发生十分显著的变化，这种现象在结合状态发生了很大变化的氧化物等中可以明显地看到．再者．构成固体的每种元素，溅射产额都不相同。所以被溅射固体的表面成分和溅射之前相比，发生了变化，这就是?...