摘要: 低气压下的等离子体属低温等离子体，其特征是电子温度比原子（分子）温度高得多。由于等离子体中各种粒子间以及它们与固体表面间发生的各种物理、化学过程，从而产生等离子体刻蚀、沉积、改质与催化．