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电子能谱仪中金属硅化物的原位制备装置

    摘要
  • 摘要: 本文介绍了在电子能谱仪中为原位制备金属硅化物样品而设计和安装的高温电子束加热装置和石英振子膜厚测量装置，着重介绍了它们的基本原理、结构和使用性能，并以Ｐｄ／ｓｉ系统为例作了简要说明．

     

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