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用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱

  • 摘要: 我们提出一种简便宜行的测试方法,即利用固定波长下的消光椭圆偏振仪中补偿器材料的色散曲线计算对不同波长的光产生的位相差,实现可变波长的消光椭圆偏振测量.以Si-SiO2膜为例测椭圆偏振光谱和理论计算,两者结果一致。

     

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