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薄SiO_2膜厚度的椭偏测量方法

  • 摘要: 应用常规椭偏方法测量膜厚小于300A的薄SiO2膜厚度时,由于膜的折射率对已知参数比较敏感,因而测量误差较大.本文给出一种薄SiO2膜厚度的椭偏测量方法,引入等效入射角的概念,用曲线拟合求交点的办法精确确定了膜的折射率和厚度.

     

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