摘要: 用扫描隧道显微镜［１－３］（ＳＴＭ）探测原子量级的表面结构，是大家熟知的．除了观察材料表面的原子和分子外，在工业上人们常用ＳＴＭ来研究样晶的表面特征，扫描范围可以从０．０１μｍ到２００．００μｍ．．这样的分辨率，扫描电镜（ＳＥＭ）也能达到．不过，ＳＥＭ测不出Ｚ方向的微小距离，而ＳＴＭ却可保持在Ｚ方向有较高的分辨率．因此，在工业上用ＳＴＭ观察在Ｚ方向有微小高差特征的表面结构，例如光滑轴承表面的?...