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周坤粦, 曹伟民, 张吉人. 等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜[J]. 物理, 1990, 19(3).
引用本文: 周坤粦, 曹伟民, 张吉人. 等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜[J]. 物理, 1990, 19(3).
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等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

    摘要
  • 摘要: 本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

     

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