中国物理学会期刊
Chinese Physics Letters Chinese Physics B 物理学报 物理 中国物理学会期刊网
高级检索

等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

    摘要
  • 摘要: 本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

     

    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
  • 资源附件(0)

/

返回文章
返回