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激光蒸发淀积高Tc超导薄膜

    摘要
  • 摘要: 本文简要介绍激光蒸发淀积高Ｔｃ超导薄膜技术的基本原理．主要工艺特点，各种激光器在制备高Ｔｃ超导薄膜中的应用及所取得的重要成果．

     

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