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实现纳米结构的新途径──STM制版技术

  • 摘要: 实现纳米结构和器件,对于开发基于量子效应的新器件和提高现有电子器件的性能,具有重要的意义.扫描隧道电子显微镜(scanningtunnelingmicroscope,STM)具有原子尺度的分辨率,用以进行表面加工,可能发展成一种实现纳米结构和器件的新技术.本文简单介绍用STM进行纳米级制版的原理、方法以及在实验室中已实现的水平和前景.

     

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