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光电子学与光电子产业专题系列介绍 用于X射线光学的多层膜

  • 摘要: 用于X射线,特别是软X射线(波长范围约为30-1nm)光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展.本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍.

     

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