摘要: 纳米级光学超精密加工是软Ｘ射线光学和光电子学元件制备的重要基础技术之一．本文概述这一技术研究的主要内容并介绍近１０年来特别是８０年代后期在这一研究领域的最新进展，例如单点金刚石车削、可延展磨削、浮法抛光以及离子束抛光等．超精密加工的最终目标是直接操纵原子，本文还介绍了用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）实现亚纳米级超精密加工的可能性．亚纳米级超精密加工技术将成为下个世纪重要的高技术