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范垂祯, 杨得全, 陈宇. 工业中的现代表面分析技术(Ⅰ) 主要仪器和方法简介[J]. 物理, 1992, 21(8).
引用本文:
范垂祯, 杨得全, 陈宇. 工业中的现代表面分析技术(Ⅰ) 主要仪器和方法简介[J]. 物理, 1992, 21(8).
工业中的现代表面分析技术(Ⅰ) 主要仪器和方法简介
范垂祯
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杨得全
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陈宇
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本文扼要地介绍了几种工业中常用的现代表面分析仪器和方法,如俄歇电子谱(AES)、X-射线光电子谱(XPS)[或称化学分析用电子谱(ESCA)]、二次离子质谱(SIMS)等的基本工作原理、仪器结构、使用方法及其特点,简单讨论了与表面分析有关的超高真空技术、样品表面的清洁、离子束溅射及无损检测等问题.
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