摘要: 在查阅大量文献的基础上，首次对半导体硅材料的发展过程进行了系统的总结，并将其划分为认识、工业化和高完整性发展的三个阶段．以半导体硅材料的技术发展为主线，论述了三个发展时期的特点，阐明了与之相关的军事、工业和科技背景，探讨了半导体硅材料发展中的技术及其实现条件。