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扫描电镜科学技术和应用的进展

  • 摘要: 评述了扫描电镜科学技术和应用的发展.有关仪器的最大改进可以总结如下:(1)采用了数字图像记录系统,扫描电子像的质量可以通过计算机的图像增强技术而大为改善;(2)整个扫描电镜完全由计算机来控制,其观察条件和分析条件可以储存和再现;(3)场发射电子枪扫描电镜的分辨率已经达到1.5nm(对于大试样)和0.6nm(对于小试样)的水平.最后还讨论了在扫描电镜中的新成像技术及其多功能的发展趋向.

     

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