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准分子激光蒸发──一种新型的镀膜技术

  • 摘要: 准分子激光蒸发是一种新型的镀膜技术.它是近几年来在高温超导薄膜的研制过程中发展起来的.本文简要介绍了准分子激光蒸发镀膜技术的基本原理、工艺特点及其生长动力学过程.

     

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