摘要: 人类不久将进入下一世纪．对于半导体工业来说，可以预计集成电路的发展将进入线宽小于０．１μｍ的图形这一范畴．那么，限制半导体工业继续进步的关键问题是什么呢？有没有现成的答案呢？我们可以将整个问题分解成三个方面，即科学上的限制、工艺的局限和经济上的考虑．第一个方面的问题是科学上的限制．更确切地说，就是在小于０．１μｍ线宽的图形中产生的物理上的限制．用现行的工艺制作的、尺寸如此之小的硅器件将产生很?...