摘要: 电子探针是一种能较准确定量的微区域成分分析手段．因此，定量分析方法的研究一直是电子探针学术界的主要研究课题．该文概述了６０年代至今的各种定量修正方法，着重对深度分布函数Ψ（ｐｚ）的研究进展作了介绍．目前的研究重点是超轻元素及特殊几何条件试样的定量分析方法．已取得一定进展，也有一些问题需要解决．