摘要: 介绍了纳米硅膜的ＰＥＣＡＤ生长方法，样品的结构特征和结构参数的测量方法。根据现有的实验数据，讨论了纳米硅样品的电学性质和光学性质，简要评述了纳米硅研究的方向和进一步所要做的工作。