等离子体源离子注入(Ⅱ)──技术扩展和初步研究结果
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摘要: 在psll前期研究工作上,我们主要集中在室温下气体离子注入,主要是氮离子注入。初步研究结果表明,PSII氮离子注入能够显著提高某些材料的表面硬度和抗磨损特性,特别是有高的铬、钛等金属含量的钢(它们工作在低一中等温度下)。但PSII氮离子注入对某些钢,某些种类材料,诸如低铬钢、陶瓷、塑料及高温下工作的?...sll前期研究工作上,我们主要集中在室温下气体离子注入,主要是氮离子注入。初步研究结果表明,PSII氮离子注入能够显著提高某些材料的表面硬度和抗磨损特性,特别是有高的铬、钛等金属含量的钢(它们工作在低