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硅分子束外延的最新进展──第五届国际硅分子束外延会议介绍

  • 摘要: 硅分子束外延的最新进展──第五届国际硅分子束外延会议介绍王迅(复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433)一、概况第五届国际硅分子束外延会议(SiMBE-V)作为1993年国际固态器件和材料会议(SSDM’93)的一部分于1993年8月30日至9月1日在日本千叶举行。本次会议所涉及的内容有:硅的同质外延、生长和掺杂,SiGe异质外延,SiGe的发光、光学性质、输运性质、表征,其他的?..

     

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