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X射线衍射Φ旋转及其应用

  • 摘要: 介绍了X射线衍射Φ旋转方法,结合具体实例说明了该方法在单晶片全方位定向、研究生长薄膜层与衬底的取向关系、研究生长薄膜层中缺陷、以及在该系统辅助下应用非对称θ-2θ衍射技术研究生长层与衬底界面晶格失配方面的应用,从研究结果可以看出,X射线衍射Φ旋转技术是研究大失配生长层完整性的有效工具。

     

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