中国物理学会期刊
Chinese Physics Letters Chinese Physics B 物理学报 物理 中国物理学会期刊网
高级检索
丁振峰, 邬钦崇, 任兆杏. 电子回旋共振等离子体技术[J]. 物理, 1996, 25(10).
引用本文: 丁振峰, 邬钦崇, 任兆杏. 电子回旋共振等离子体技术[J]. 物理, 1996, 25(10).
shu

电子回旋共振等离子体技术

    摘要
  • 摘要: 微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术，它具有优良的综合指标，提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平．文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理、特点及重要的实验研究结果

     

    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
  • 资源附件(0)

/

返回文章
返回